2002年10月11日（金） <第310号>

┏━┓　　　　　　　　　　　　　eエンジニアリングニュース
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┗━┛　　　　　　　　　　　　　　　　『超微細○○』
　　　　　　
　　　　　　　< http://www.geocities.co.jp/Hollywood/7001/sangyo2.html >
　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　【ナノ加工機】　　　

□ファナック< http://www.fanuc.co.jp/ja/product/m_robot.htm >は、10億分の1メートルレベルで金属加工する超精密ナノ加工機「ロボナノUiA」を量産します。(2002年10月8日)

○「ロボナノUiA」
すべての軸受けに空気静圧軸受けを採用、工具や加工対象物に対し、振動や摩擦をゼロの状態で制御します。5方向から加工できる5軸加工機で、複雑形状の微細加工に向きといっています(2002年4月から発売。価格は1億円)。

新型はＸ・Ｙ・Ｚの直線軸で1ナノメートル、Ｂ・Ｃの回転軸で10万分の1度の最小位置決め単位で、同時5軸制御が可能な複合加工機。溝ピッチが1マイクロ(1マイクロは100万分の1)メートルの回析格子や直径1ミリの自由曲面ミラーの金型の精密ミーリング加工が行えるといわれています。専用アタッチメントを使ったダイヤモンド旋削加工では光ピックアップの金型加工なども可能とのことです。

□ソディック< http://www.sodick.co.jp/new/pdf/EXC100L.pdf >は、10ナノメートル単位で機械を制御できるワイヤ放電加工機「EXC100L」を2003年1月に発売します。(2002年10月7日)

○「EXC100L」は、ナノ加工機「NANO100」用に開発した制御技術を放電加工機に応用したそうです。制御軸はすべてリニアモーターで駆動します。微細な電子部品の金型加工に向くといっています。

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　『超微細シリコン』

□高知工科大< http://www.kochi-tech.ac.jp/kut_J/index.html >の学生3人がナノテクノロジー(超微細技術)実験中に髪の毛の約1万分の5という「超微細シリコン」の大量生産技術を開発しました。(2002年10月7日)

○将来的には、液晶並のディスプレーの厚さが約１センチという超薄型テレビの商品開発も可能といわれています。従来の微細シリコンは50-100ナノだったが、超微細シリコンは10-20分の1程度でした。尚、超微細シリコンができた理由は不明とのことです。

専門家は「先入観のない学生だからこそ生まれた成果」だとしながらも、「超微細シリコンを安定して大量生産でき、極めて実用的」といっています。

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『関連情報サイト』　　　　　
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�凵uナノ・マシニング」
　< http://www.alps.co.jp/technology/2002/may/page4.htm >

�凵u5軸加工機」
　< http://www.gidc.co.jp/ichioshi-5.htm >

�凵u金型製作」
　< http://www.toyotec.com/gijutsu2/se_kanagata.htm >

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